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            1. 深圳市東信高科自動化設備有限公司
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              等離子清洗機
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              首頁 產品中心 等離子刻蝕機 6~8英寸標準型刻蝕機 6~8英寸標準型等離子刻蝕機

              6~8英寸標準型等離子刻蝕機...

              產品型號:TS-VPK

              產品簡介: 標準6~8英寸晶圓片刻蝕機,用于手機、半導體電子等多個行業

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              產品特點


              應用領域:適用于大學、研究院所、企業研發禮構通用的等離子體刻蝕的科研與教學或者小批量量產。

              等離子刻蝕方式:RIE反應離子刻蝕或者ICP模式離子刻蝕(根據用戶需求定制)

              樣片數量及尺寸:1片φ6英寸、8英寸

              刻蝕材料:包括并不限于單晶硅、多晶硅、Si02,Si3N4,Ti,W、聚合物等

              刻蝕腔體:高真空系統

              刻蝕不均勻性:±3%-+6%

              刻蝕速率:0.1-4um/min(視具體材料與工藝)

              工作臺:可升降,包含水冷

              電源配置:上電極射頻,下電極偏壓,包含自動匹配

              氣路數量與種類:6路耐氟基腐蝕氣路或用戶選配

              操作模式:PLC+電腦顯示屏,全自動+半自動控制


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